Die Fertigung von Mikroelektronik wird immer präziser. Um die sehr hohen Anforderungen an Genauigkeit und Dynamik zu erfüllen, konzipiert JAT erstmals ein Gantry mit einer innovativen Technologiekombination für einen energetischen Rundumschlag. Granit hat als Fundament eine hohe thermische Stabilität und eine sehr gute Schwingungsdämpfung, ist daher bestens geeignet, wenn es um Präzision im Nanometerbereich geht. Darauf verfährt eine CFK-Achse auf Luftlagern reibungsfrei. Aufgrund seiner mechanisch und thermisch hohen Belastbarkeit ist der Verbundwerkstoff CFK prädestiniert für diesen Einsatz. Durch das reibungsfreie Verfahren und die minimale Masse der Leichtbau-Achse sind Beschleunigungen von 100 m/s2 und besser umsetzbar.
Mehrachssystem setzt neue Maßstäbe in punkto Genauigkeit
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Mehrachssystem setzt neue Maßstäbe in punkto Genauigkeit
Die Kombination von Luftlagertechnik und Leichtbauweise in einem Gantry-System vereint, erfüllt höchste Ansprüche bezüglich Dynamik und Genauigkeit.
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