Ultra-Präzisions-Positioniersystem

Für höchste Dynamik und Genauigkeit wurden erstmals zwei Nischentechnologien in einem Gantry-System vereint, Luftlagertechnik und Verbundwerkstoff. Mikrochips in smarten Produkten werden immer leistungsfähiger und der Bauraum immer kleiner. Doch Maschinenhersteller für die Halbleiterfertigung geraten zunehmend an die Grenzen, was Genauigkeit und Dynamik betrifft. Um diesen hohen Anforderungen gerecht zu werden, konzipierte JAT ein Gantry-System mit einer innovativen Technologie-Kombination. Granit hat als Fundament eine hohe thermische Stabilität und eine sehr gute Schwingungsdämpfung, ist daher bestens geeignet, wenn es um Präzision im Nanometerbereich geht. Darauf verfährt eine CFK-Achse auf Luftlagern reibungsfrei. Aufgrund seiner mechanisch und thermisch hohen Belastbarkeit ist der Verbundwerkstoff CFK prädestiniert für diesen Einsatz. Durch das reibungsfreie Verfahren und die minimale Masse der Leichtbau-Achse sind Beschleunigungen von 150 Meter pro Quadratsekunde und besser umsetzbar. So kann man derartige Systeme in der Elektronikfertigung, beispielsweise bei der Belichtung einzelner Bauelemente auf einem Wafer oder in der Leiterplattenbearbeitung beim Microdicing oder Microbonden einsetzen